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    石英

    密度:2.20±0.02g/cm^3

    透過率:≥92%@193nm;≥98%@248nm

    光學均勻性:±(2-10)×10^-6

    應力雙折射:2-5nm/cm

    尺寸尺寸范圍側垂光潔度面形角度公差光學平行差通光孔徑
    5×5-10×10mm1′20/10-60/40λ/4-λ/10
    2″-60″2″-3′≥90%
    20×20-50×50mm1′20/10-60/40λ/4-λ/10
    2″-60″2″-3′≥90%
    60×60-100×100mm1′40/20-80/50λ/4-λ/10
    2″-60″2″-3′≥90%


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